时间:2023-11-01 预览:1
在线式高速喷射晶圆点胶机是一种用于在线式生产中加工晶圆的设备,也称为丝印机或喷墨打印机。其工作原理是通过高速喷射的胶水来将保护层涂覆在晶圆表面,以保护晶圆并增加其导电性。
在线式高速喷射晶圆点胶机的主要组成部分包括:
晶圆涂覆系统:用于将胶水从喷嘴中喷射到晶圆表面。
控制系统:用于控制喷射系统的运行和参数设置。
原料供应系统:用于提供胶水和其他原料。
废液收集系统:用于收集废液并回收利用。
在线式高速喷射晶圆点胶机的工作流程:
将晶圆放入洗涤液中,去除表面的污垢。
将晶圆放入预热后的涂覆系统中,将胶水从喷嘴中喷射到晶圆表面。
控制喷射系统的运行,以控制胶水的喷射速度和流量。
根据需要,调整胶水的浓度和粘度。
在涂覆完成后,将晶圆从涂覆系统中取出,并用废液收集系统收集废液。
检查晶圆的表面质量,并根据需要进行再次涂覆。
在线式高速喷射晶圆点胶机具有生产效率高、生产能力大、制程稳定、易操作等优点,可广泛应用于集成电路、半导体器件等领域的生产中。